一种真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机，该镀膜机的真空室为卧式圆筒形，且分为原料室、工作室和成品室。工作时板状工件从原料室移动至工作室，再移到成品室。该机工作效率高、镀膜均匀，能进行大批量生产，且大大降低了镀板状工件所需的电弧源或溅射源数，特别适用于镀制大平面不锈钢板、大平面玻璃、瓷砖或类似形状的工件。

主权项

1、一种真空镀膜机，包括真空室、用于加热工件的加热器和柱状电弧蒸发源或柱状溅射源，其特征是真空室为卧式圆筒形，且分为相联通的原料室、工作室和成品室，还包括使工件从原料室移动到工作室，再从工作室移动到成品室的传动装置。