化学气相沉积金刚石涂层硬质合金工具新工艺

摘要

本发明提供了一种简便而有效的化学气相沉积金刚石膜涂层硬质合金工具的制备方法，即在进行化学气相沉积之前，先用高能激光束(准分子激光，或二氧化碳激光，或YAG激光)处理硬质合金工具衬底表面，以增强金刚石膜与衬底之间的结合力，提高金刚石膜涂层工具的使用性能，可以采用任何现有的金刚石膜低压化学气相沉积工艺获得具有很好结合力的金刚石涂层，采用特殊的掩膜工艺，还可以实现金刚石膜只在工具尖角和刃口及附近区域的沉积。

主权项

1、一种在硬质合金衬底上用低压化学气相沉积方法制备金刚石膜涂层工具的工艺，其特征在于沉积金刚石膜之前采用激光束对硬质合金衬底进行预处理，即采用合适的样品夹持装置使聚焦的激光束能在样品表面上扫描，激光束的能量密度应能充分地去除极表层的钴，同时又能达到表面的适当粗糙化，进行上述处理之后，可以采用目前所有的金刚石膜化学气相沉积方法完成金刚石膜的涂复，包括微波等离子体CVD，热灯丝CVD，等离子喷射(PLASMA JET)以及其它现存的工艺。