发明名称 ELECTRODE OF MICROELECTROSTATIC ACTUATOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07115780(A) 申请公布日期 1995.05.02
申请号 JP19930021559 申请日期 1993.02.10
申请人 KANAGAWA KAGAKU GIJUTSU AKAD;NIPPONDENSO CO LTD 发明人 HIGUCHI TOSHIRO;KANEKO TAKU
分类号 H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 H02N1/00
代理机构 代理人
主权项
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