发明名称 |
ELECTRODE OF MICROELECTROSTATIC ACTUATOR AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07115780(A) |
申请公布日期 |
1995.05.02 |
申请号 |
JP19930021559 |
申请日期 |
1993.02.10 |
申请人 |
KANAGAWA KAGAKU GIJUTSU AKAD;NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
HIGUCHI TOSHIRO;KANEKO TAKU |
分类号 |
H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 |
主分类号 |
H02N1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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