| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ABSOLUTE PRESSURE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07113708(A) |
申请公布日期 |
1995.05.02 |
| 申请号 |
JP19930262070 |
申请日期 |
1993.10.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AOKI KENICHI;YAMAMOTO YOSHIKI;TAKAHASHI YUKIO |
| 分类号 |
G01L7/00;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 |
主分类号 |
G01L7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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