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发明名称
Verfahren zum Betrieb einer Kryopumpe sowie Vakuumpumpensystem mit Kryopumpe und Vorpumpe
摘要
申请公布号
DE4336035(A1)
申请公布日期
1995.04.27
申请号
DE19934336035
申请日期
1993.10.22
申请人
LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE
发明人
TIMM, UWE, PROF. DR., 60323 FRANKFURT, DE;KLEIN, HANS-HERMANN, PROF. DR., 61169 FRIEDBERG, DE;HAEFNER, HANS-ULRICH, DR., 50996 KOELN, DE;MUNDINGER, HANS-JUERGEN, DR., 50321 BRUEHL, DE
分类号
F04B37/08;(IPC1-7):F04B37/08;F04B45/00
主分类号
F04B37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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