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发明名称 MEASURING INSTRUMENT FOR INDUCED JUNCTION CURRENT
摘要
申请公布号 JPH07111285(A) 申请公布日期 1995.04.25
申请号 JP19930253864 申请日期 1993.10.12
申请人 NEC CORP 发明人 KAMESHIMA YASUBUMI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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