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发明名称 CONVEYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07108159(A) 申请公布日期 1995.04.25
申请号 JP19930276150 申请日期 1993.10.07
申请人 EBARA CORP 发明人 KONDO FUMIO;SHINOZAKI HIROYUKI;KAJIYAMA MASAAKI;MATSUMURA MASAO;YOSHIOKA TAKESHI
分类号 B65G49/07;B01J3/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B01J3/02 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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