| 发明名称 |
DEVICE FOR DETECTING ELECTRIC CHARGE OF WORKER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07104020(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19930251397 |
申请日期 |
1993.10.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;AKITA DENSHI KK |
发明人 |
USAMI KAORU;TAKAHASHI SATORU |
| 分类号 |
G01R29/24;H01L21/66;(IPC1-7):G01R29/24 |
主分类号 |
G01R29/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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