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发明名称
SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH07105898(A)
申请公布日期
1995.04.21
申请号
JP19930244228
申请日期
1993.09.30
申请人
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD
发明人
SUZUKI NAOMASA;KUMADA TAKAO;TAMOCHI RIYUUICHIROU
分类号
H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/22
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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