| 发明名称 |
TROUBLE SHOOTING METHOD IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07106215(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19930253397 |
申请日期 |
1993.10.08 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MAKITANI MASAHIRO;YOKAWA TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/02;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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