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发明名称
EXPOSING METHOD
摘要
申请公布号
JPH07106218(A)
申请公布日期
1995.04.21
申请号
JP19930242954
申请日期
1993.09.29
申请人
SONY CORP
发明人
YABUTA MITSUO
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/306
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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