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发明名称 PLASMA TREATMENT EQUIPMENT AND PLASMA TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH07106307(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930251650 申请日期 1993.10.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIDA TOMOAKI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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