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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0735318(B2)	申请公布日期	1995.04.19
申请号	JP19860132983	申请日期	1986.06.09
申请人		发明人
分类号	C30B11/00;C30B29/48;H01L21/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/00	主分类号	C30B11/00
代理机构		代理人
主权项
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