发明名称 VERFAHREN ZUR FÖRDERUNG VON CHEMIKALIENLÖSUNGEN IN DER HALBLEITERINDUSTRIE SOWIE ANLAGE ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS.
摘要
申请公布号 AT120101(T) 申请公布日期 1995.04.15
申请号 AT19910109214T 申请日期 1991.06.06
申请人 UHDE GMBH 发明人 VAN DEN BOSSCHE, ANDRE
分类号 C07B61/00;B01J4/00;F17D1/14;(IPC1-7):B01J4/00;F04F1/12 主分类号 C07B61/00
代理机构 代理人
主权项
地址