发明名称 Vorrichtung zur Kontrolle des Lageverhältnisses zwischen einer Photomaske und einem Plättchen.
摘要
申请公布号 DE3853246(D1) 申请公布日期 1995.04.13
申请号 DE19883853246 申请日期 1988.09.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 SATO, TAKEO, TAMA-KU KAWASAKI, JP;AOKI, SHINICHIRO, TAMA-KU KAWASAKI, JP;YAMAGUCHI, KATSUMASA, SAGAMIHARA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KANEKO, TADASHI, SAGAMIHARA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;NOMURA, NOBORU, KYOTO-SHI KYOTO, JP;KOGA, KEISUKE, HIRAKATA-SHI OSAKA, JP;YAMASHITA, KAZUHIRO, AMAGASAKI-SHI HYOGO-KEN, JP
分类号 G03F9/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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