发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING AN ACTIVE MATRIX DISPLAY.
摘要
申请公布号 EP0647354(A1) 申请公布日期 1995.04.12
申请号 EP19930910769 申请日期 1993.04.26
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY INCUBATOR, INC. 发明人 BRINKENSTEIN, MIKI;GLUCK, JOACHIM;LUDER, ERNST
分类号 H01L21/77;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/772 主分类号 H01L21/77
代理机构 代理人
主权项
地址