| 发明名称 |
LAMINATED FILM, ITS FORMATION AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0794515(A) |
申请公布日期 |
1995.04.07 |
| 申请号 |
JP19930261587 |
申请日期 |
1993.09.24 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR JAPAN LTD |
发明人 |
MIZOBUCHI KOICHI;SUGIURA TOSHIHIRO |
| 分类号 |
C23C16/06;C23C28/02;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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