| 发明名称 |
FOREIGN MATTER INSPECTION DEVICE, AND MANUFACTURE OF EXPOSING DEVICE AND DEVICE WITH IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0792096(A) |
申请公布日期 |
1995.04.07 |
| 申请号 |
JP19940110436 |
申请日期 |
1994.04.25 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
NOSE TETSUSHI;TSUJI TOSHIHIKO;MIYAZAKI KYOICHI;TAKEUCHI SEIJI;YOSHII MINORU |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/47;G01N21/94;G01N21/956;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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