| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING FILM FORMING CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0794418(A) |
申请公布日期 |
1995.04.07 |
| 申请号 |
JP19930232866 |
申请日期 |
1993.09.20 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SHIMOMURA KOJI;HORIOKA KEIJI;OKANO HARUO |
| 分类号 |
C23C22/40;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C22/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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