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发明名称 ION IMPLANTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0786197(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930226190 申请日期 1993.09.10
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKAHASHI FUTOSHI;TOMITA MITSUHIRO
分类号 H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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