发明名称 DYING COLORING MATTER FOR INSPECTING LIGHT ECHO AND OPTICAL INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0783917(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930231120 申请日期 1993.09.17
申请人 NIKON CORP 发明人 FURUSAWA AKIRA;SUGA TAKAYUKI
分类号 G01N21/00;G01N21/77;G01N33/48;(IPC1-7):G01N33/48 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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