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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0785994(A)
申请公布日期
1995.03.31
申请号
JP19930231388
申请日期
1993.09.17
申请人
KOBE STEEL LTD
发明人
UEDA HIROICHI;KINOSHITA TAKASHI
分类号
C23C16/50;H05H1/46;H05H7/02;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
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