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经营范围
发明名称
METHOD OF PROCESSING SUBSTANCE TO BE PROCESSED
摘要
申请公布号
JPH0786208(A)
申请公布日期
1995.03.31
申请号
JP19930182009
申请日期
1993.06.28
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
MATSUSE KIMIHIRO
分类号
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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