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发明名称 Vergrösserungskorrektursystem für eine lithographische Röntgenmaske mit leitfähigen Substraten.
摘要
申请公布号 DE69012695(T2) 申请公布日期 1995.03.30
申请号 DE1990612695 申请日期 1990.05.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 MALDONADO, JUAN R., CHAPPAQUA, N.Y. 10514, US
分类号 G03F1/22;G03F1/38;G03F1/72;G03F7/20;H01L21/027;H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 G03F1/22
代理机构 代理人
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