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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0728007(B2) 申请公布日期 1995.03.29
申请号 JP19890090499 申请日期 1989.04.10
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L27/02;H02H7/20;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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