发明名称 FLUID COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0780384(A) 申请公布日期 1995.03.28
申请号 JP19930250111 申请日期 1993.09.10
申请人 HIRATA CORP;SHIPLEY FAR EAST KK 发明人 HIRATA MITSURU;BABA YOSHITO
分类号 B05C5/02;B05C9/12;H01L21/027;(IPC1-7):B05C5/02 主分类号 B05C5/02
代理机构 代理人
主权项
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