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发明名称 SOI-substraatti ja menetelmä sen valmistamiseksi
摘要
申请公布号 FI951340(A0) 申请公布日期 1995.03.22
申请号 FI19950001340 申请日期 1995.03.22
申请人 KOMATSU ELECTRONIC METALS CO., LTD.;NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION;NTT ELECTRONICS TECHNOLOGY CORPORATION 发明人 NAKASHIMA, SADAO;IZUMI, KATSUTOSHI;OHWADA, NORIHIKO;KATAYAMA, TATSUHIKO
分类号 H01L21/76;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/762;H01L21/86;H01L27/00;H01L27/12;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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