发明名称 LIQUID IMMERSION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0777657(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19930248737 申请日期 1993.09.09
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKAMURA TATSU
分类号 G02B21/00;G02B21/02;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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