发明名称 METHOD OF FORMING STEP ON FILM FORMING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0779021(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19930348838 申请日期 1993.12.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAGAISHI RYUKI;ITOZAKI HIDEO
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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