发明名称 |
METHOD OF FORMING STEP ON FILM FORMING SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0779021(A) |
申请公布日期 |
1995.03.20 |
申请号 |
JP19930348838 |
申请日期 |
1993.12.27 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NAGAISHI RYUKI;ITOZAKI HIDEO |
分类号 |
H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
H01L39/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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