| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM FLUX MONITORING DEVICE AND MOLECULAR BEAM EPITAXY EQUIPMENT PROVIDED THEREWITH |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0778763(A) |
申请公布日期 |
1995.03.20 |
| 申请号 |
JP19930221326 |
申请日期 |
1993.09.06 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
FUKAZAWA HIROYUKI;NEGISHI TOSHIO |
| 分类号 |
C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
