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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0778871(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19930223264 申请日期 1993.09.08
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIMOKAWA MASAAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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