发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0778782(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19930172711 申请日期 1993.06.18
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 TERAMOTO SATOSHI;CHIYOU KOUYUU
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/320 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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