| 发明名称 |
CONVERGENCE ION BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0773839(A) |
申请公布日期 |
1995.03.17 |
| 申请号 |
JP19940157612 |
申请日期 |
1994.07.08 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
FUJII TOSHIAKI;SUGIYAMA YASUHIKO |
| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/22 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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