发明名称 VAPOR PHASE EPITAXY AND MAGNESIUM MATERIAL THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0774108(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930216660 申请日期 1993.08.31
申请人 MITSUBISHI CABLE IND LTD 发明人 KUKIMOTO HIROSHI;WATABE SHINICHI;TADATOMO KAZUYUKI
分类号 C30B29/26;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B29/26
代理机构 代理人
主权项
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