发明名称 |
VAPOR PHASE EPITAXY AND MAGNESIUM MATERIAL THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0774108(A) |
申请公布日期 |
1995.03.17 |
申请号 |
JP19930216660 |
申请日期 |
1993.08.31 |
申请人 |
MITSUBISHI CABLE IND LTD |
发明人 |
KUKIMOTO HIROSHI;WATABE SHINICHI;TADATOMO KAZUYUKI |
分类号 |
C30B29/26;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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