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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0723277(B2) 申请公布日期 1995.03.15
申请号 JP19870277895 申请日期 1987.11.02
申请人 发明人
分类号 C30B15/02;H01L21/18;(IPC1-7):C30B15/02 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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