发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0769784(A) 申请公布日期 1995.03.14
申请号 JP19930221919 申请日期 1993.09.07
申请人 NISSHIN STEEL CO LTD 发明人 TOMIZUKA YUJI;TOMITA YUSHI
分类号 C30B19/06;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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