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发明名称 SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE AND VACUUM EVACUATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0770733(A) 申请公布日期 1995.03.14
申请号 JP19930217653 申请日期 1993.09.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOKOSARA AKIO
分类号 C23C14/00;F04B37/08;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/00;H01L21/306 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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