| 发明名称 |
EVALUATION METHOD FOR SEMICONDUCTOR SURFACE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0766250(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
| 申请号 |
JP19930214110 |
申请日期 |
1993.08.30 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
YAMANISHI YOSHIKI;OMA TAKAHIKO;MORITA SEIZO |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B7/34;G01B21/30;G01Q60/24;G01Q60/30;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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