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发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0766414(A) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 JP19930207906 申请日期 1993.08.23
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SUZUKI KOJI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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