| 发明名称 |
Procédé et appareil pour mesurer par ellipsométrie la température d'un objet, notamment semi-conducteur. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2698443(B1) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
| 申请号 |
FR19920014430 |
申请日期 |
1992.11.25 |
| 申请人 |
LYON ECOLE CENTRALE |
发明人 |
JACQUES JOSEPH;YAO-ZHI HU;EUGENE IRENE |
| 分类号 |
G01B11/06;G01K11/12;(IPC1-7):G01J5/58;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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