发明名称 Electron energy filter, preferably from alpha or omega type.
摘要
申请公布号 EP0492295(B1) 申请公布日期 1995.03.08
申请号 EP19910121292 申请日期 1991.12.12
申请人 FIRMA CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, HANDELND ALS CARL ZEISS 发明人 KRAHL, DIETER, DR.;RILK, ALBRECHT;PAETZOLD, HANS;BIHR, JOHANNES
分类号 G01Q30/02;H01J37/05;H01J49/46;(IPC1-7):H01J37/05 主分类号 G01Q30/02
代理机构 代理人
主权项
地址