| 发明名称 |
APPARATUS FOR MANUFACTURING CRYSTALLINE THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0758026(A) |
申请公布日期 |
1995.03.03 |
| 申请号 |
JP19930201380 |
申请日期 |
1993.08.13 |
| 申请人 |
TOYOBO CO LTD |
发明人 |
OKUYAMA TETSUO;MURASE HIROTAKA |
| 分类号 |
C30B29/06;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
