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发明名称 TRANSISTOR MANUFACTURING METHOD USING ARC-MODE SIDEWALL SPACER
摘要
申请公布号 JPH0758325(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19940155933 申请日期 1994.07.07
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 GEN ZAITETSU
分类号 H01L21/336;H01L29/772;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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