发明名称 MEHTOD AND DEVICE FOR TESTING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0755891(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930197449 申请日期 1993.08.09
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAKAHASHI AKIRA;SHINAGAWA MITSURU
分类号 G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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