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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR INERT GAS REPLACEMENT OF LOAD LOCK APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0758093(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930223822 申请日期 1993.08.17
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAMURA NAOTO
分类号 C23C14/56;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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