发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0758055(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930206276 申请日期 1993.08.20
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MIZUNO MAKOTO
分类号 H01L21/266;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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