| 发明名称 |
Nondestructive Determination of Plasma Processing Treatment |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2130167(A1) |
申请公布日期 |
1995.02.28 |
| 申请号 |
CA19942130167 |
申请日期 |
1994.08.15 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
MATOSSIAN, JESSE N.;VAJO, JOHN J. |
| 分类号 |
G01N21/59;C23C14/00;C23C14/22;C23C14/48;C23C14/54;G01N27/04;(IPC1-7):H05H1/00 |
主分类号 |
G01N21/59 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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