METODO E DISPOSITIVO PER LA DEPOSIZIONE TRAMITE SPRUZZAMENTO CATODICO DI FILMS SOTTILI SUPERCONDUTTORI DI NIOBIO SU CAVITA' RISONANTI A QUARTO D'ONDA IN RAME PER L'ACCELLERAZIONE DI IONI PESANTI.

摘要

Metodo per la realizzazione di un sottile film di rivestimento all'interno di cavità risonanti a quarto d'onda in rame, consistente nella deposizione per spruzzamento catodico (sputtering) a diodo polarizzato in corrente continua, di un materiale superconduttore, in particolare Niobio, sotto forma di micro-strato a spessore praticamente costante che riveste sia la superficie cilindrica della cavità, sia la piastra piana che costituisce il fondo della medesima, mediante catodi emettitori aventi una forma che segue geometricamente l'andamento delle superfici da rivestire.