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发明名称 Autonomer Behälter für Vakuumsbehandlung eines Objekts und Übertragungsschleuse.
摘要
申请公布号 DE69201146(D1) 申请公布日期 1995.02.23
申请号 DE1992601146 申请日期 1992.03.12
申请人 FRANCE TELECOM, PARIS, FR 发明人 HOUZAY, FRANCOISE, F-92220 BAGNEUX, FR;MOISON, JEAN-MARIE, F-78290 CROISSY SUR SEINE, FR;NISSIM, YVES, F-75020 PARIS, FR
分类号 F04B37/16;F17D3/00;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
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