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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Metall-Metall-Kapazität in einer integrierten Schaltung und entsprechende integrierte Schaltung
摘要
申请公布号 DE69808190(D1) 申请公布日期 2002.10.31
申请号 DE19986008190 申请日期 1998.07.03
申请人 STMICROELECTRONICS S.A., MONTROUGE;FRANCE TELECOM, PARIS 发明人 JAOUEN, HERVE;MARTY, MICHEL
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L27/10;(IPC1-7):H01L29/92;H01L21/320 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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